Keithley 2600B 系列源表选型指南

Keithley 2600B 系列是什么

Keithley 2600B 系列是吉时利（Keithley）的系统级源测量单元（System SourceMeter SMU，国内常称"系统源表"）。它与面向实验室台面的经典 2400 系列、带触摸屏的 2400 图形化系列（2450/2460/2461/2470）是三套不同的产品线：2600B 从设计起就面向高度自动化的生产测试，单台机器里集成了精密直流源、真电流源、6½ 位数字万用表、任意波形发生器、脉冲发生器与电子负载；标配 GPIB、RS-232、USB 2.0 与 LAN（LXI-C），并支持 TSP-Link 菊链，把多台机器连成一套并行测试系统。

需要先明确一点：这三套产品线的接口、编程模型与菊链能力互不通用，选型时不能按"数字越大配置越高"来判断，也不存在简单的上下位替代关系。2400 系列与 2450/2460 的定位差异，可参考 Keithley 2400 系列源表介绍 与 Keithley 2450 与 2460 源表区别。

在售 9 款机型分三组

2600B 系列在售机型共 9 款，按「电压档 × 通道数 × 电流灵敏度」分成三组：

三组的区分点：40 V 组（2601B / 2602B / 2604B）适合低压 FET 与 IC 测试；200 V 组（2611B / 2612B / 2614B）覆盖 LED、HEMT、二极管这类中压器件；200 V 低电流组（2635B / 2634B / 2636B）把电流测量下限压到 1 fA 与 0.1 fA，面向纳米器件、石墨烯/CNT 与 MOSFET 栅极漏电等微弱电流测量。

选型三步：电压档 → 通道数 → 电流量级

第一步，看被测器件的最大电压。 不超过 ±40 V 选 40 V 组；需要到 ±200 V 选 2611B / 2612B / 2614B 或低电流组的 2634B / 2635B / 2636B。

第二步，看需要几路独立源测。 单通道对应 2601B / 2611B / 2635B；双通道对应 2602B / 2604B / 2612B / 2614B / 2634B / 2636B。双通道机型每通道的输出能力与同组单通道一致，区别是单台可同时驱动两路器件，机架空间与接线都更省。

第三步，看电流量级。 常规 mA 至 A 级测量用 100 fA 分辨率的机型即可；要测 nA 以下的栅极漏电、纳米器件漏电时，需要 0.1 fA 分辨率的 2635B（单通道）或 2636B（双通道）。

分档明细可查看 Keithley 2600B 系列系统源表 页面，单型号信息见 Keithley 2602B、Keithley 2612B、Keithley 2636B 等对应产品页。

选型第一坑：三款精简版的取舍

2604B、2614B、2634B 是 Value Priced 精简版，通道指标与同组标准双通道机型相同，但不含 TSP-Link 菊链、不含数字 I/O、不含 Contact Check 接触检查。

这一取舍直接影响自动化能力：若要多台菊链组成并行测试系统（最多 32 台 / 64 通道，通道同步 <500 ns），或需要与产线 handler 通过数字 I/O 联动，就必须选标准机型（2602B / 2612B / 2636B 等）。接触检查用于在测量前确认探针与器件是否真正接触，长时间无人值守的产线测试通常需要它。

也就是说，先确认自动化需求，再决定标准版还是精简版——这一步比价差更值得先想清楚。

功率口径：宣传页上的 200 W 是脉冲功率

这是 2600B 选型中最容易读错的一个数：常见资料写的"200 W"是脉冲功率，直流功率是另一个口径。

10 A 只在脉冲模式成立：直流模式下 40 V 组上限 3 A、200 V 组上限 1.5 A。同时，限值还受当前源量程与功率包络约束——40 V 组在 40.4 V 时只能到 1 A，要输出 3 A 需把电压降到约 13.5 V；200 V 组在 202 V 时只能到约 0.152 A，1.5 A 对应约 20 V 一带。也就是说，"最大电压 × 最大电流"这种组合并不存在。上表包络值为按功率上限推算，精确边界以官方手册 Operating boundaries 章节为准。

源与测的档位、以及 200 V 的 interlock

电压源档位：40 V 组为 100 mV / 1 V / 6 V / 40 V（上限 ±40.4 V）；200 V 组为 200 mV / 2 V / 20 V / 40 V / 200 V。

需要注意的是，200 V 档需要先使能 interlock 才能启用（2611B / 2612B / 2614B 与 2634B / 2635B / 2636B 均适用）。

电流源档位：40 V 组自 100 nA 起、经 1 µA / 10 µA / 100 µA / 1 mA / 10 mA / 100 mA / 1 A 到 3 A，共 10 档（10 A 仅脉冲）；200 V 组自 100 nA 起、上限 1.5 A（10 A 仅脉冲）；低电流组自 100 pA 起、上限 1.5 A。

这里要区分分辨率与源范围：100 fA / 0.1 fA 说的是测量分辨率，不是源输出下限。

接口、菊链与编程

2600B 全系标配 GPIB、RS-232、USB 2.0 与 LAN（LXI-C，带 Web 界面）。相比只有 GPIB 加 RS-232 的经典 2400 系列，接现代电脑不再需要额外配 GPIB 卡；相比取消了 RS-232 的图形化系列，2600B 保留了串口。标准机型另有数字 I/O（14 路开漏，25 针 D 型接口，需配 7709-308A 接头）与 Contact Check。

TSP-Link 菊链最多 32 台 / 64 通道，通道同步 <500 ns；仪器内置 TSP 脚本引擎（Java-based），可把完整测试程序嵌到机内脱机运行，不必由上位机逐条下发命令。

机架尺寸 89 × 213 × 460 mm（H×W×D，2U），台式含把手与脚垫为 104 × 238 × 460 mm；重量单通道机型 4.75 kg、双通道机型 5.50 kg。散热为强制风冷、侧进风后出风，机架安装时需留出一侧不被遮挡；工作温度 0–50 ℃，仅限室内使用。

典型应用

• 晶圆级与晶圆厂 ATE 测试、多站点并行测试；
• 功率器件与 IC 生产测试；
• LED / HEMT / 二极管生产测试；
• 纳米材料与石墨烯微弱电流测试；
• MOSFET 栅极漏电测试；
• 电池与电化学测试。

上述为系统源表品类的典型用法，具体到您的测试场景是否合适，需要结合器件参数与自动化需求判断。

供货状态

2600B 系列 9 款机型均为官方在售机型，本次核对未发现停产通告；选型时若遇到 2620B、2650B 之类的型号编号，属更早一代产品，不在当前系列型号表内。

销售 / 租赁 / 维修 / 回收

冠汇仪器供应 Keithley 2600B 系列各机型，全新与二手设备均可选，并提供配套服务：

• 销售：全新/二手可选，配置与成色不同，规格以实物为准；
• 租赁：按月计费、长租更优惠，不接受按天短租，适合项目制测试；
• 维修：先检测、后确认维修方案，维修完成后做校准验证；
• 回收：闲置的 2600B 系列仪器可评估回收。

各项服务的办理流程见 仪器出售、仪器租赁、仪器维修、仪器回收。